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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型設(shè)備濺射SV-9045 日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045 SV系列是立式間歇式濺射裝置。 有磁盤(pán)壓模專用的SV-200，以及可處理大量基板的轉(zhuǎn)盤(pán)式。
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