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產(chǎn)品型號(hào)：LSC廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-02-19訪 問 量：60
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型加熱汽化玉科供應(yīng)
HORIBA堀場半導(dǎo)體緊湊型加熱汽化玉科供應(yīng)
緊湊型加熱汽化
HORIBA 銷量人氣的加熱汽化系統(tǒng)為滿足目前高科技工業(yè)的需求而開發(fā)。該系統(tǒng)可在無需載氣的情況下進(jìn)行穩(wěn)定的材料汽化，例如 TEOS（流量 600 SCCM）和 H2O（流量 2 SLM）。為方便操作，所有設(shè)備維護(hù)都可以在設(shè)備前端進(jìn)行。
大流量氣化
LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的穩(wěn)定氣化
所有設(shè)備維護(hù)都可以在設(shè)備前端進(jìn)行
可選掌上型 PDA 用于監(jiān)控 LSC 的運(yùn)行狀態(tài)，并記錄和分析運(yùn)行日志
產(chǎn)生的流速 | H2O 2SLM，TEOS 600 SCCM（最大） |
工作壓力 | 最大1.33kPa |
源罐容量 | 2.7升 |
熱調(diào)節(jié)方式 | 熱調(diào)節(jié)器進(jìn)行 PID 控制 |
液面檢測(cè)方法 | 浮動(dòng)開關(guān) |
內(nèi)部質(zhì)量流量控制器 | SEC-8400 系列 |
氣壓閥 | 波紋管型 |
液體連接和氣體接觸區(qū)域的材料 | SUS316L, PFA |
工作溫度 | 20 至 35 °C |
外部輸入 | 氣壓閥開/關(guān)、質(zhì)量流量控制器流量設(shè)定信號(hào)（0 至 5 V DC/0 至 100% FS）、緊急停止信號(hào)、自動(dòng)調(diào)零信號(hào)（選項(xiàng)） |
外部輸出 | 溫度報(bào)警、液位HH報(bào)警、液位信號(hào)（H、M、L）、READY信號(hào)、質(zhì)量流量控制器流量輸出信號(hào)（（0～5V DC/0～100％FS）、恒溫槽內(nèi)風(fēng)扇停止報(bào)警、閥門電壓監(jiān)視器（選配） |
電源 | AC100V、單相50/60Hz、1.5kVA |
其他 | 自動(dòng)充電系統(tǒng)：可連接到LU系列。 |
* 流量控制范圍根據(jù)液體的種類而變化。 | |
* SCCM 和 SLM 是表示氣體流速（0°C、101.3 kPa 時(shí)為 mL/min、L/min）的符號(hào)。 | |
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