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HOBIBA堀場原廠混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器
簡要描述：

HOBIBA堀場MV-2000原廠混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器
HOBIBA堀場原廠混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器

  • 產(chǎn)品型號：MV-2000
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-02-12
  • 訪  問  量：98

詳細介紹

HOBIBA堀場原廠混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器

HOBIBA堀場原廠混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器

混合噴射系統(tǒng)液體蒸發(fā)器

MV-2000 使用新的龍卷風(fēng)流法，即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化。這適用于汽化各種液體，甚至是具有挑戰(zhàn)性的源，例如“High-k"，一種易于熱解的液體源。

  • 使用新的旋流法在低溫下穩(wěn)定蒸發(fā)

  • 更高的流速汽化（添加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）

  • 可以汽化容易熱解的液體源

 
型MV-2000 系列
液體材料除對不銹鋼有腐蝕性的液體（例如 HCl、HF）外的所有液體
設(shè)定溫度按汽化條件（控制閥 ： 最高 140 °C 汽化器 ： 最高 200 °C）
泄漏完整性≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He）
內(nèi)部泄漏標(biāo)準(zhǔn)≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He）
接液部件SUS316L 、 PFA
溫度傳感器K 型熱電偶 （CA）
耐壓性1MPa（克）
標(biāo)準(zhǔn)接頭液體入口：1/8 VCR 型 外螺紋 載氣入口：1/4 VCR 型 內(nèi)螺紋 氣體出口：1/2 VCR 型 外螺紋
工作溫度15 - 50 °C
選擇空氣閥（內(nèi)漏標(biāo)準(zhǔn)：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He））
可滾動

  • 產(chǎn)生的流量可能因液體材料、生成量、生成條件等而異


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